檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Liang-Yih Chen".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="第三丁基聯胺"
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本研究利用有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)系統,將氮源由傳統MOCVD製程中所使用的氨氣(NH3)改為第三丁基聯胺(i-butylhydrazine, TBHy),來與三甲基鎵(trimethyl…